國產等離子清洗機Pluto-160系統配置: | |||||
占地 | 705寬×1240長×1790高mm--2195H mm帶信號燈高度 | ||||
腔體 | 腔體尺寸 | 518W× 518H × 648D mm | 電極配置 | 射頻電極尺寸 | 477W x 450Dmm |
腔體容積 | 173L | 接地電極尺寸 | 477W x 450Dmm | ||
最大電極數 | 8 | 料盒電極/尾流型等離子電極/噴淋式電極 | |||
電極間距 | 48mm | 其它定制項目請咨詢PLUTOVAC | |||
射頻源 | 射頻電源 | 1000W/13.56MHz | 氣體控制 | 標配兩路質量流量計(MFC)/可擴充至5路 | |
真空泵 | 50CFM油泵/80m3/h干泵 | 可選項 | 冷水機(cooling capability 9kW); 380V,7A,50Hz,3-Pahse;需使用超純水10-35℃ | ||
廠務要求 | 電源 | 380V, 25A, 50Hz, 3-Pahse, 8AWG, 5-Wire | 壓力控制單元 | ||
吹掃氣體 | 0.25 in. Swagelok comp. fitting for 10-90psig | 氮氣發生器(用于提供吹掃氣體與破真空氣體) | |||
破真空氣體 | 0.25 in. Swagelok comp. fitting for 15-20psig | 尾氣處理器(特殊工藝選配) | |||
壓縮空氣 | 0.25 in. Swagelok comp. fitting for 60-90psig | 泵油過濾器 | |||
排氣口 | KF40 | 真空泵耐腐蝕組件(特殊工藝選配) |