國產等離子清洗機是一種利用等離子體技術進行表面清洗的設備。其工作原理是在一個真空的環境中,通過放電將氣體轉化為等離子體,產生高能粒子和光子,對待清洗物表面進行清洗。在清洗時先將清洗物放入真空室中,降低壓強到相應的工作范圍。然后,通過加入惰性氣體來維持氣體壓力。接下來,在真空室中加入所需的氣體,并通過射頻高頻電場形成等離子體。等離子體中活性粒子與處理物表面之間發生化學反應,實現表面清洗。使用泵將等離子體排出并恢復氣體壓強至大氣壓力。
國產等離子清洗機的清洗原理主要基于等離子體的化學反應和物理作用。在等離子體的作用下,物體表面的雜質可以通過以下幾種方式被去除:
化學反應。等離子體中的自由基和離子可以與物體表面的雜質發生化學反應,將其分解成無害的物質,從而實現清洗的目的。例如,通過等離子體清洗金屬表面時,氧分子與金屬表面的雜質反應,將其氧化成氧化物,隨后再通過等離子體清除氧化物,實現金屬表面的清洗。
物理作用。等離子體中的高能電子和離子可以直接撞擊物體表面的雜質,將其彈開或剝離,從而實現清洗的目的。例如,通過等離子體清洗晶體表面時,等離子體中的離子和電子可以直接撞擊晶體表面的雜質,將其彈開或剝離,從而實現晶體表面的清洗。
溶解作用。等離子體中的離子可以與物體表面的雜質發生離子交換反應,將其溶解成離子,從而實現清洗的目的。例如,通過等離子體清洗玻璃表面時,等離子體中的氟離子可以與玻璃表面的雜質發生離子交換反應,將其溶解成離子,從而實現玻璃表面的清洗。
國產等離子清洗機廣泛應用于電子、半導體、光學、航空航天等行業,可用于清洗各種材料的表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、晶體等。其優點是清洗效果好、清洗速度快、無污染、環保等。